铜(Cu)的热膨胀系数为αs=16.4×10-6 cm/cm·℃。铜的硬度比较大,铜制密封圈在使用前必须在真空或氢气中进行退火处理,消除内应力。无氧铜是目前超高真空密封联接中常用的密封圈材料。其不足之处是高温烘烤中与大气接触部分会氧化,因此,在要求高的情况下,将无氧铜的密封圈的表面镀一层金,使其具有更好的密封性能。
作为联接用的法兰盘材料也必须能承受高温烘烤以及在高温时仍有良好的力学性能。常用的材料是不锈钢。法兰密封表面的粗糙度和尺寸就精度均应满足超高真空密封的要求。
密封件没有异常;
1.在低压时漏油高压时不漏,产生原因装配表面粗糙度差,-----改善表面粗糙度达到3.2~6.3umry用硬度低一点的密封件
2.活塞杆的油环变大,每一个行程都会滴几滴油,产生原因防尘圈的唇口刮掉油膜更换防尘圈的型式。
3.在低温时漏油高温时不漏油,产生原因有两种一种是偏心太大一种是密封件的材料选择不合适,选用耐寒的密封件即可解决问题。